İngilizce: Clean Room
Hava kaynaklı partikül konsantrasyonunun kontrol edildiği oda. Temiz oda partikül girişini, çoğalmasını ve içerde tutunabilme süresini minimize edecek şekilde tasarlanıp inşa edilmiştir. Bu odada sıcaklık, nem ve basınç gibi ilgili diğer parametreler de gerektiğinde kontrol edilir.